型号：SIGMA

详细描述

GEMINI 镜筒的设计可提供超低电压成像和稳定性。SIGMA 能识别小至 1.5 nm 的微细结构。而 SIGMA HD 则可进一步提高分辨率至 1.0 nm。

SmartSEM 软件具有图像导航功能，借助数字概览图像完成样品在样品仓内的导航、定向和定位。使用 SmartBrowse 查看图像及其相关分析数据。

通过在 SIGMA HD 分析样品室上安装双 EDS 探测器来提高效率。快速、精准的 X 射线能谱仪。

SIGMA HD 实现了分析型场发射扫描电镜的高清晰成像。新型的低电压优化背散射探测器 HD BSD，能够在低加速电压（750V 至 3kV）和低探针电流下对样品成像。新型 HD BSD 还可在 30kV 电压下成像，堪称业界一流。

SIGMA HD 将大幅图像帧存储与高速电子束扫描相结合，可实现在高分辨率大视野下（12K x 9K）的快速元素（50ns/像素）定量分析。样品室还能够同时连接两个相对的 EDS 探测器，均可实现最大固定角度探测。针对电子束敏感样品，双 EDS 设置能在使用高 X 射线计数率的情况下同时保持低探针电流。