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福禄克molbloc-S 音速喷嘴流量元件
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福禄克molbloc-S 音速喷嘴流量元件

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产品描述

概述

基于音速喷嘴的 molbloc,气流可达 5,000 slm

molbloc-S® 是一种高精确度的传送标准,适用于校准其他传送标准或过程流量计和控制器。molbloc-S molbox1+ molbox RFM™ 终端配合,可扩展 molbloc/molbox™ 校准系统的量程,并且为中高流量提供出众的准确度。现有的 molbox1 终端配备了 4.0 或更高版本的嵌入软件,而所有 molbox1+ 终端都能与 molbloc-S 结合使用。

产品综述

特性一览

l  对于 N2 和空气,覆盖高达 5,000 slm 的量程

l  可与 molbox1+ 或现有的 molbox1 molbox RFM 质量流量终端以及 COMPASS 软件结合使用

l  重量校准支持可靠的流量文氏管(音速)喷嘴操作原则

l  污染物敏感度极低

l  测量不确定度:

对于 molbox1+,可达到 ±0.125% 读数

对于 molbox1,可达到 ±0.2% 读数

对于 molbox RFM,可达到 ±0.5% 读数

l  可以使用空气、N2ArH2HeN2O 和其他校准气体,可以对环境气体进行潮湿气体密度补偿

l  利用 molbox1+S 或其他 molbox 型号加上真空,可实现量程可调性(10:1 调节)。

l  冗余的上游绝压测量使用 molbox 绝压传感器来降低不确定度并提高可靠性

l  完整的气体温度调节和测量

l  连续、实时的读数,就像传统的 molbloc-L 层流元件一样

l  可以实现全自动

molbloc-S 量程

通过 molbloc-S 的质量流速可直接与上游绝压以及独立的下游压力或压力差成比例。molbloc-S 流量量程由 molbloc 的压力到流量转化率 KF 定义。KF 的单位为 sccm/kPa,它定义了质量流量与传送到 molbloc-S 的上游绝压之间的关系。molbloc-S 校准工作是针对与 20 200 kPa3 30 psia)、50 500 kPa7 70 psia)或 200 kPa 2 MPa30 300 psia)的上游压力相对应的量程执行的。

为了使流量测量有效,molbloc-S 文丘管喷嘴处的流量很重要,例如,气体速度等同于本地音速。当背压率足够低时可以达到关键流量,或保持 BPR 不变(molbloc-S 下游绝压除以上游绝压)。关键流量可接受的 molbloc-S BPR 值的上限介于 0.5 0.9 之间,具体取决于流量的雷诺数。

由于通过 molbloc-S 的质量流量与上游绝压成比例,molbloc-S 的流量量程在应用中的限值受 BPR 限值的影响。要使 molbloc-S 元件的量程最大化,必须在下游连接一个真空泵,减少流动时的下游压力。当下游压力足够低时,就可以将上游压力以及质量流速调节到针对 molbloc 校准类型的最小值,而不再受 BPR 限值的限制。如果 molbloc-S 使用大气压作为下游(无真空泵),则molbloc 所使用的上游压力必须介于其校准类型的最大压力到当 BPR 等于当前雷诺数下的 BPR 限值时的最小压力之间。molbox1 终端包括了一些功能,可测量 BPR,在 BPR 值过高时自动提示操作人员,避免在流量非关键时进行测量。

技术指标

molbloc/molbox 通用技术指标

 

molbox1+

molbox RFM

除非另行说明,否则所有技术指标均与 molbox1 相同。

正常工作温度范围:

15 35°C

 

储存温度范围:

-25 35°C

 

正常工作压力范围:

20 200 kPa 绝压(3 30 psia);或 50 500 kPa 绝压(7 70 psia)上游;或 200 2000 kPa30 300 psia),仅适用于 molbox1+S

 

总流量量程:

<1 5,000 slm

 

入口连接:

1E1-S 1E2-S

2E2-S 2E3-S

5E3-S 1E4-S

1/4 in. VCR™

1/2 in. VCR™

1 in. VCR™ 1 in. NPT

 

出口连接:

5E1-S 2E3-S

5E3-S1E4-S

16 mm (3/4 in.) ISO-KF 型真空法兰盘

40 mm (1 1/2 in.) ISO-KF 型真空法兰盘

 

支持的气体:

氮气 (N2)、干空气、潮湿空气、氩 (Ar)、一氧化碳(CO)、氦 (He)、氧气 (O2)、二氧化碳 (CO2)、四氟化碳 (CF4)、乙烷 (C2H6)、乙烯 (C2H4)、三氟甲 (CHF3)、六氟乙烷 (C2F6)、氢气 (H2)、甲烷 (CH4)、一氧化二氮 (N2O)、丙烷 (C3H8)、六氟化硫 (SF6)、丁烷 (C4H10)、八氟环丁烷 (C4F8)、氙气 (Xe)

 

流量测量

范围:

取决于 molbloc 的尺寸和压力校准量程(请参阅 molbloc-S 量程表格)

 

所需背压率:

0.4 0.9,取决于雷诺数

 

校准气体:

标准:干空气

可选:N2(取代标准空气校准或作为补充)、ArH2HeN2O。有关这些气体和其他气体在特定量程内的可用性,请咨询厂家。

*湿空气操作需要进行干空气校准

 

molbloc-S 压力校准量程:

低压力 (LP)

20 200 kPa 绝压(3 30 psia),上游

标准压力 (SP)

50 500 kPa 绝压(7 70 psia),上游

高压力 (HP)

200 2 MPa 绝压(30 300 psia),上游

* HP 校准仅适用于 molbox1+S 终端

* 流量测试技术指标在 10% 100% molbloc 量程内有效

 

分辨率:

±0.0015% FS

±0.01% 读数

精确度:

读数的 ±0.06

±0.30% 读数

预测的稳定度(一年期)

读数的 ±0.05

读数的 ±0.2

测量不确定度

读数的 ±0.2

特级校准:±0.125% 读数

50 500 kPa 时,±0.5% 读数

型号和配件

型号

描述

1E1-S

KF [sccm/kPa]: 10

每个 molbloc-S 在交付时都附带以下内容:

molbloc-S 流元素

运输和存储箱

用于上游连接的可重复使用的柔软 VCR O 形圈;ISO-KF和安装说明;用于 molbloc 下游连接的 ISO-KF 样式定心环、夹具和超压环;安装说明

标准压力 (SP) 的标准不确定性校准,并具有空气和经认证的校准报告。

溢价的不确定性、HP LP 压力校准以及其他可用的校准气体 - 咨询机构或工厂。

2E1-S

KF [sccm/kPa]: 20

每个 molbloc-S 在交付时都附带以下内容:

molbloc-S 流元素

运输和存储箱

用于上游连接的可重复使用的柔软 VCR O 形圈;ISO-KF和安装说明;用于 molbloc 下游连接的 ISO-KF 样式定心环、夹具和超压环;安装说明

标准压力 (SP) 的标准不确定性校准,并具有空气和经认证的校准报告。

溢价的不确定性、HP LP 压力校准以及其他可用的校准气体 - 咨询机构或工厂。

5E1-S

KF [sccm/kPa]: 50

每个 molbloc-S 在交付时都附带以下内容:

molbloc-S 流元素

运输和存储箱

用于上游连接的可重复使用的柔软 VCR O 形圈;ISO-KF和安装说明;用于 molbloc 下游连接的 ISO-KF 样式定心环、夹具和超压环;安装说明

标准压力 (SP) 的标准不确定性校准,并具有空气和经认证的校准报告。

溢价的不确定性、HP LP 压力校准以及其他可用的校准气体 - 咨询机构或工厂。

1E2-S

KF [sccm/kPa]: 100

每个 molbloc-S 在交付时都附带以下内容:

molbloc-S 流元素

运输和存储箱

用于上游连接的可重复使用的柔软 VCR O 形圈;ISO-KF和安装说明;用于 molbloc 下游连接的 ISO-KF 样式定心环、夹具和超压环;安装说明

标准压力 (SP) 的标准不确定性校准,并具有空气和经认证的校准报告。

溢价的不确定性、HP LP 压力校准以及其他可用的校准气体 - 咨询机构或工厂。

2E2-S

KF [sccm/kPa]: 200

每个 molbloc-S 在交付时都附带以下内容:

molbloc-S 流元素

运输和存储箱

用于上游连接的可重复使用的柔软 VCR O 形圈;ISO-KF和安装说明;用于 molbloc 下游连接的 ISO-KF 样式定心环、夹具和超压环;安装说明

标准压力 (SP) 的标准不确定性校准,并具有空气和经认证的校准报告。

溢价的不确定性、HP LP 压力校准以及其他可用的校准气体 - 咨询机构或工厂。

5E2-S

KF [sccm/kPa]: 500

每个 molbloc-S 在交付时都附带以下内容:

molbloc-S 流元素

运输和存储箱

用于上游连接的可重复使用的柔软 VCR O 形圈;ISO-KF和安装说明;用于 molbloc 下游连接的 ISO-KF 样式定心环、夹具和超压环;安装说明

标准压力 (SP) 的标准不确定性校准,并具有空气和经认证的校准报告。

溢价的不确定性、HP LP 压力校准以及其他可用的校准气体 - 咨询机构或工厂。

1E3-S

KF [sccm/kPa]: 1000

每个 molbloc-S 在交付时都附带以下内容:

molbloc-S 流元素

运输和存储箱

用于上游连接的可重复使用的柔软 VCR O 形圈;ISO-KF和安装说明;用于 molbloc 下游连接的 ISO-KF 样式定心环、夹具和超压环;安装说明

标准压力 (SP) 的标准不确定性校准,并具有空气和经认证的校准报告。

溢价的不确定性、HP LP 压力校准以及其他可用的校准气体 - 咨询机构或工厂。

2E3-S

KF [sccm/kPa]: 2000

每个 molbloc-S 在交付时都附带以下内容:

molbloc-S 流元素

运输和存储箱

用于上游连接的可重复使用的柔软 VCR O 形圈;ISO-KF和安装说明;用于 molbloc 下游连接的 ISO-KF 样式定心环、夹具和超压环;安装说明

标准压力 (SP) 的标准不确定性校准,并具有空气和经认证的校准报告。

溢价的不确定性、HP LP 压力校准以及其他可用的校准气体 - 咨询机构或工厂。

5E3-S

KF [sccm/kPa]: 5000

每个 molbloc-S 在交付时都附带以下内容:

molbloc-S 流元素

运输和存储箱

用于上游连接的可重复使用的柔软 VCR O 形圈;ISO-KF和安装说明;用于 molbloc 下游连接的 ISO-KF 样式定心环、夹具和超压环;安装说明

标准压力 (SP) 的标准不确定性校准,并具有空气和经认证的校准报告。

溢价的不确定性、HP LP 压力校准以及其他可用的校准气体 - 咨询机构或工厂。

1E4-S

KF [sccm/kPa]: 10,000

每个 molbloc-S 在交付时都附带以下内容:

molbloc-S 流量元素

运输和存储箱

用于 molbloc 上游连接的柔软的,可重复使用的 VCR O 形圈;用于 molbloc 下游连接的 ISO-KF 样式定心环、夹具和超压环;安装说明

处于标准压力 (SP) 的标准不确定性校准,具有空气和经认证的校准报告。

高度的不确定性、HP LP 压力校准以及其他可用的校准气体 - 咨询机构或工厂。

molbloc-S 校准选件

低压 20 200 kPa3 30 psia

molbloc 上游(指定溢价或标准)

标准压力 50 500 kPa7 70 psia

molbloc 上游(指定溢价或标准)

高压 200 2000 kPa30 300 psia

molbloc 上游(指定溢价或标准)

通用配件:

配件

描述

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