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福禄克molbloc-L 层流元件
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福禄克molbloc-L 层流元件

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重量:0.00KG
产品描述

概述

用于 1 sccm 100 slm 流量的层流元件

molbloc-L 是与 molbox 质量流量终端结合使用的层流元件。molbloc 流量路径位于 molbloc 内,是活塞与结合紧密的汽缸体之间的纵向环形间隙。通过调整这个间隙的尺寸,可获得不同的 molbloc 量程。对于高流量量程(1E4 尺寸及以上),需要使用配有更大活塞的更大 molbloc 机体。

产品综述

特性一览

l  可与现有的 molbox1+ molbox RFM 质量流量终端以及 COMPASS 软件结合使用

l  整合了过滤器,可保护其免受污染

l  完整的气体温度调节和测量

l  连续、实时的读数

l  可以实现全自动

l  无活动部件

molbloc-L 量程

molbloc 尺寸由一些相对于标称流量阻抗的数字指定。在 250 kPa 绝压 (36 psia) 上游压力和 50 kPa (7.5 psid) 压力差的情况下,当氮气流经 molbloc 时,标称阻抗可产生标称流量量程。在实践中,molbloc 流量量程可能与标称流量量程差别很大。这些差别来自气体之间的密度和粘性之间的差别,也来自不同的 molbloc 工作压力校准选项。

技术指标

技术指标 - 标准 molbloc-L 校准 - molbox1+ 终端结合使用

测量更新速率

1

范围

0 molbloc 满刻度,取决于气体和 molbloc 压力

取决于校准类型(请参阅第 1.2.5.1.3 节)

分辨率

0.0015 % FS

线性

±0.05% 读数,从 10% 100% FS

±0.005% FS,在 10% FS 以下

重复性

±0.05% 读数,从 10% 100% FS

±0.005% FS,在 10% FS 以下

精确度1

±0.07% 读数,从 10% 100% FS

10 FS 下为 ±0.007 FS

稳定度2

1 年期)

±0.09% 读数,从 10% 100% FS

10 FS 下为 ±0.009 FS

测量不确定度3

±0.2% 读数,从 10% 100% FS

10 FS 下为 ±0.02 FS

N2 molbox1+ 支持且 molbloc 校准时使用的任意气体)

1E5 molbloc

±0.5% 读数,从 25% 100% FS

±0.125% FS,在 25% FS 以下

精确度:包含线性度、迟滞和可重复性。

稳定度:典型 molbox1+ molbloc 在典型环境下使用时特定时间段内从零到范围值的最大变化情况。由于稳定度只能是一种预测,因此应该根据经验建立特定 molbloc molbox1+ 的稳定度。

测量不确定度(精确度):molbox1+ 流量指示相对于通过 molbloc 的流量真值的最大偏差,包括精确度、稳定度和福禄克公司计量校准部的标准测量不确定度。

技术指标 - 特级 molbloc-L 校准 - molbox1+ 终端结合使用

测量更新速率

1

范围

0 molbloc 满刻度,取决于气体和 molbloc 压力 取决于校准类型(请参阅第 1.2.5.1.2 节)

分辨率

0.0015 % FS

线性

±0.05% 读数,从 10% 100% FS

±0.005% FS,在 10% FS 以下

重复性

±0.05% 读数,从 10% 100% FS

±0.005% FS,在 10% FS 以下

精确度1

±0.07% 读数,从 10% 100% FS

10 FS 下为 ±0.007 FS

稳定度2

1 年期)

±0.03% 读数,从 10% 100% FS

10 FS 下为 ±0.003 FS

测量不确定度3

±0.125% 读数,从 10% 100% FS

10 FS 下为 ±0.0125 FS

N2 molbox1+ 支持且 molbloc 校准时使用的任意气体)

1E5 molbloc-L 特级校准不可用

精确度:包含线性度、迟滞和可重复性。

稳定度:典型 molbox1+ molbloc 在典型环境下使用时特定时间段内从零到范围值的最大变化情况。由于稳定度只能是一种预测,因此应该根据经验建立特定 molbloc molbox1+ 的稳定度。

测量不确定度(精确度):molbox1+ 流量指示相对于通过 molbloc 的流量真值的最大偏差,包括精确度、稳定度和福禄克公司计量校准部的标准测量不确定度。

技术指标 - 标准 molbloc-L 校准 - molbox RFM 终端结合使用

 

molbloc-L(量程从 1E1-L 3E4-L

测量更新速率

1

范围

0 molbloc 满刻度,取决于气体和 molbloc 压力,取决于校准类型

(请参阅 molbloc-L 量程表)

分辨率

0.01% FS

线性

±0.23% 读数,从 10% 100% FS±0.023% FS,在 10% FS 以下

重复性

±0.1% 读数,从 10% 100% FS±0.01% FS,在 10% FS 以下

精确度1

±0.25% 读数,从 10% 100% FS±0.025% FS,在 10% FS 以下

预测的稳定度2

(一年期)

±0.15% 读数,从 10% 100% FS±0.015% FS,在 10% FS 以下

测量不确定度3

±0.5% 读数,从 10% 100% FS±0.05% FS,在 10% FS 以下

具有微量程选项的 molbox RFM

 

molbloc-L(量程从 1E1-L 3E4-L

molbloc-L(量程仅仅是 1E5)

测量更新速率

1

1

范围

0 molbloc 满刻度,取决于气体和 molbloc 压力,取决于校准类型(请参阅 molbloc-L 表)

0 molbloc 满刻度,取决于气体和 molbloc 压力,取决于校准类型(请参阅 molbloc-L 表)

分辨率

0.01 % FS,在 0.001 % FS 以下;0.001 % FS,在 10% FS 以下

0.01% FS

线性

±0.23% 读数,从 1% 100% FS

±0.0023% FS,在 1% FS 以下

±0.25% 读数,从 5% 100% FS±0.0125% FS,在 5% FS 以下

重复性

±0.1% 读数,从 1% 100% FS±0.001% FS,在 1% FS 以下

±0.2% 读数,从 5% 100% FS±0.01% FS,在 5% FS 以下

精确度1

±0.25% 读数,从 1% 100% FS±0.0025% FS,在 1% FS 以下

±0.32% 读数,从 5% 100% FS±0.016% FS,在 5% FS 以下

预测的稳定度2

(一年期)

±0.15% 读数,从 1% 100% FS±0.0015% FS,在 1% FS 以下

±0.2% 读数,从 5% 100% FS±0.01% FS,在 5% FS 以下

测量不确定度3

±0.5% 读数,从 1% 100% FS±0.005% FS,在 1% FS 以下

±0.5% 读数,从 5% 100% FS±0.025% FS,在 5% FS 以下

型号和配件

型号

描述

1E1 VCR-V-Q

molbloc 质量流元素

每一个 molbloc 在交付时都附带以下内容:

存储和运输箱

柔软的,可重复使用的 VCR O 形圈和安装说明

全模,低压氮气 (N2) 校准。

其他 N2 校准和/或没有 N2 气体的校准必须作为单独的单项产品订购。

对美国国家标准与技术研究所 (NIST) 的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据

5E1 VCR-V-Q

molbloc 质量流元素

每一个 molbloc 在交付时都附带以下内容:

存储和运输箱

柔软的,可重复使用的 VCR O 形圈和安装说明

全模,低压氮气 (N2) 校准。

其他 N2 校准和/或没有 N2 气体的校准必须作为单独的单项产品订购。

对美国国家标准与技术研究所 (NIST) 的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据

1E2 VCR-V-Q

molbloc 质量流元素

每一个 molbloc 在交付时都附带以下内容:

存储和运输箱

柔软的,可重复使用的 VCR O 形圈和安装说明

全模,低压氮气 (N2) 校准。

其他 N2 校准和/或没有 N2 气体的校准必须作为单独的单项产品订购。

对美国国家标准与技术研究所 (NIST) 的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据

2E2 VCR-V-Q

molbloc 质量流元素

每一个 molbloc 在交付时都附带以下内容:

存储和运输箱

柔软的,可重复使用的 VCR O 形圈和安装说明

全模,低压氮气 (N2) 校准。

其他 N2 校准和/或没有 N2 气体的校准必须作为单独的单项产品订购。

对美国国家标准与技术研究所 (NIST) 的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据

5E2 VCR-V-Q

molbloc 质量流元素

每一个 molbloc 在交付时都附带以下内容:

存储和运输箱

柔软的,可重复使用的 VCR O 形圈和安装说明

全模,低压氮气 (N2) 校准。

其他 N2 校准和/或没有 N2 气体的校准必须作为单独的单项产品订购。

对美国国家标准与技术研究所 (NIST) 的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据

1E3 VCR-V-Q

molbloc 质量流元素

每一个 molbloc 在交付时都附带以下内容:

存储和运输箱

柔软的,可重复使用的 VCR O 形圈和安装说明

全模,低压氮气 (N2) 校准。

其他 N2 校准和/或没有 N2 气体的校准必须作为单独的单项产品订购。

对美国国家标准与技术研究所 (NIST) 的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据

5E3 VCR-V-Q

molbloc 质量流元素

每一个 molbloc 在交付时都附带以下内容:

存储和运输箱

柔软的,可重复使用的 VCR O 形圈和安装说明

全模,低压氮气 (N2) 校准。

其他 N2 校准和/或没有 N2 气体的校准必须作为单独的单项产品订购。

对美国国家标准与技术研究所 (NIST) 的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据

1E4 VCR-V-Q

molbloc 质量流元素

每一个 molbloc 在交付时都附带以下内容:

存储和运输箱

柔软的,可重复使用的 VCR O 形圈和安装说明

全模,低压氮气 (N2) 校准。

其他 N2 校准和/或没有 N2 气体的校准必须作为单独的单项产品订购。

对美国国家标准与技术研究所 (NIST) 的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据

3E4 VCR-V-Q

molbloc 质量流元素

每一个 molbloc 在交付时都附带以下内容:

存储和运输箱

柔软的,可重复使用的 VCR O 形圈和安装说明

全模,低压氮气 (N2) 校准。

其他 N2 校准和/或没有 N2 气体的校准必须作为单独的单项产品订购。

对美国国家标准与技术研究所 (NIST) 的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据

1E5 VCR-V-Q

molbloc 质量流元素

每一个 molbloc 在交付时都附带以下内容:

存储和运输箱

柔软的,可重复使用的 VCR O 形圈和安装说明

全模,低压氮气 (N2) 校准。

其他 N2 校准和/或没有 N2 气体的校准必须作为单独的单项产品订购。

对美国国家标准与技术研究所 (NIST) 的校准报告记录追踪并报告已测量的校准数据

molbloc-S 校准选件

低压 20 200 kPa3 30 psia

molbloc 上游(指定溢价或标准)

标准压力 50 500 kPa7 70 psia

molbloc 上游(指定溢价或标准)

高压 200 2000 kPa30 300 psia

molbloc 上游(指定溢价或标准)

通用配件:

配件

描述

molbloc-L 出口

工作压力(绝压):

molbloc 大气压出口

高级或标准

molbloc-L 高压

工作压力(绝压):

molbloc 进口处为 325 525 kPa48 76 psia

molbloc-L 低压

工作压力(绝压):

molbloc 进口处为 250 325kPa(36 48psia

高级或标准

Priority Gold Instrument CarePlan

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